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1200℃双炉氢化物气相外延系统(HVPE)
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1400℃炉门和门堵一体化箱式炉(MAX:1400℃,容积:3.4L,高温开门取放样,无门堵)
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1400℃炉门和门堵一体化箱式炉(MAX:1400℃,容积:8L,高温开门取放样,无门堵)
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1200℃梯度可调提拉式晶体炉
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900℃双温区旋转CVD炉(配备不锈钢异形耐压管,最大压力0.1MPa)
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1200℃手套箱连体管式炉系统
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10T电动无油压力机
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分体式蒸发镀膜仪(可放入手套箱)
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1200℃高温雾化热腐蚀炉
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1100℃&6英寸CVD系统(钛合金法兰、防腐型)
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方形压片模具(可定制,最大尺寸80×80mm)
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三管式炉连接手套箱系统(H2O&O2<1PPM)
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800℃&0.1MPa不锈钢防腐回转炉
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750℃&5T真空平板热压机
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1500℃快速升降温提拉炉(双温区、管径可选)
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900℃不锈钢耐腐回转炉
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1200℃超声雾化PECVD系统(超声频率40KHZ)
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高温高压炉
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自动化16通道固体粉料分配机构
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1600℃电解炉(最大电解电流:2000A,Φ200*380mm石墨坩埚)
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1200℃自动化智能化管式炉(管径:30mm,可用于智能化自动化AI实验室)
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La3Ga5SiO14 硅酸镓镧单晶
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小型自动化立式冲击破碎和球磨机(10ml研磨罐,程序化控制,可在手套箱内使用)
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1200℃大口径四温区开启式全自动CVD系统