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  • 1200℃小型四温区开启式管式炉
  • 200℃电动轧辊/平板热轧机 (宽200mm,可在氩气环境中使用)
  • 全自动双炉滑动CVD系统(1200℃Max)
  • 1200℃双温区旋转管式氢气炉 (异形炉管容积:Φ127*280mm)
  • 1600℃双通道超声雾化CVD管式炉
  • 1700℃高温取样箱式炉(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
  • 小型真空箱式炉 (6L,1050℃,配温度控制器)
  • 1200℃滑动管式炉(管径130mm)
  • 可连续型全自动气淬管式炉
  • 小型分体式磁控溅射仪(50mm靶头,可选直流或射频电源,手套箱内可用)
  • STX-600系列金刚石线切割机
  • 1500℃三温区回转炉(配自动进料和接收系统)
  • PECVD系统
  • 500ºC&5T精密电动无油平板热压机 (135mmx135mm)
  • 立式管式炉
  • 1700℃高温箱式炉带观察窗(8L,炉腔尺寸:200*200*200mm)
  • 1600℃超声雾化CVD管式炉
  • 固态电池原位压力变化测试系统
  • 手动压力机
  • 1500℃双温区回转炉(配60mm氧化铝管)
  • 1600℃三温区下装载箱式炉(72L,炉腔尺寸:400*400*450mm)
  • 1200℃高通量自动化管式炉 (130mm,可配机械手实现自动装载)
  • 小型燃料电池试验用管式炉(20mm,1000℃)
  • 双极真空泵

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