| 参考文献 | 参考文献：Growth of diamond in liquid metal at 1 atm pressure |
| 设备名称型号 | ·2000℃超快加热外延晶体提拉炉 RTP-MS2000 |
| 基本参数 | · 电源：单相AC 220V±5% 50/60HZ · 功率：17 KW · 最高加热温度：2000℃ · 最快升温速率：80℃/S · 加热元件材质：石墨；尺寸：171*28*25mm
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| 真空腔室 | · 材质：采用SS304不锈钢双层水冷腔体 · 尺寸：φ345*380mm · 腔体顶部安装了一个提拉机构，腔体顶部的KF50接口与提拉机构上的焊接波纹管连接，提拉杆通过此接口到达腔体内部坩埚位置 · 提拉行程：100mm · 提拉速度：0.5—50mm/h（可调），提拉行程与提拉速度均可在触摸屏上进行设置。 · 快速升降速度：60mm/min · 红外测温仪通过法兰盖上一个φ35mm观察窗探测样品的温度 · 腔体右侧的两个φ6.35mm的双卡套接头为进气口，分别通过一个不锈钢针阀控制进气的通断。进气口通过控制柜上的精密调节阀控制进气流量。 腔体左侧有两个φ6.35的卡套接头作为排气口，排气口通过不锈钢针阀控制通断；安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察腔体内压力 · 设备左侧预留一个KF40接口作为抽口； · 腔体上的KF16接口可选配安装数显真空计； · 腔体内部有一套石墨保温体 · 两根陶封电极安装在保温体底部，石墨坩埚安装在电极支撑柱的石墨螺杆上，保温体上盖开有通孔，可从法兰上的观察窗口观察样品和探测坩埚温度，以及方便提拉杆提拉样品。
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| 红外测温系统 | · 使用红外测温仪检测温度，红外测温仪温度测量范围：550-3000℃ 测量精度：±(0.5% FS+2℃)，重复精度：±0.3% FS； · 控温方式：手动控温和程序控温（通过“手动/自动切换开关”切换） · 手动控温：通过右侧面板上的电流调节旋钮调节电流值，从而调节温度 · 程序控温：安装了一个数显PID温度控制器，可设置30段升降温程序,恒温控温精度为±3℃
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| 控制柜 | · 设备的主体与控制部分为分体式结构 · 控制柜面板上有一个精密微量调节阀，用于调节进气流量。有一个手动调节旋钮，调节加热电流。 有个手动/自动切换开关，切换手动控温和程序控温，一个温控仪表用于显示红外测温仪监测到的温度数值。 · 控制柜上有一个485通讯接口 · 控制柜上安装了一个触摸屏，可以在触摸屏上设置设备的升温曲线，可以在触摸屏上设置提拉机构的提拉速度。
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| 皮拉尼真空计 (选配) | · 测量范围：1*10-4 mbar—1000 mbar（1*10-4—750 torr） · 准确度：1000mbar—20 mbar（读数的30%） 20—0.002mbar （读数的2%） · 重复性：20—0.002mbar （读数的2%） · 使用湿度：30℃环境下≤80% 40℃环境下≤50%无冷凝气体； · 使用温度：5℃—60℃
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| 水冷系统（选配） | · 型号 :CW-6300 · 电源 : AC 220一 240V 50Hz · 工作电流 :3.4-26.3A · 制冷量 : 30708Btu/h · 水箱容量 :40L · 最大流量 :75L/min · 重量：约150KG · 机器尺寸：655×810×1170mm﹙L×W×H﹚
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| 真空系统（选配） | · 型号：VRD-24 · 抽气速率：6.6 L/S · 电机功率：1100 W · 极限压强：4×10-1Pa（不带负载） · 实际压强：≤3 Pa（带上密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟） · 如果想要获得更高的真空度（10-5torr或更高）可选购国产或进口高真空机组 |
| 设备外形尺寸 | · 主体：750*750*1850mm（长*宽*高）含炉架 · 控制系统：700*850*920mmm（长*宽*高）
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| 净重 | ·约350KG |
| 质保 | ·一年保修，终身技术支持 ·特别提示： 1.耗材部分如石墨加热元件、石英窗口等不包含在内。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损失不在保修范围内。 |
使用注意事项 | · 腔体内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa， 建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭腔体的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热， 则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生。 · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。 由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
