1200℃气氛可控自动底部装载炉(配内径Φ144mm石英管)
型号:
VBF-1200X-6A
产品概述:
VBF-1200X-5A 是一款立式 管式炉,炉管内径144mm,配有自动底部装载台,在可控气氛下工作温度可达 1200℃。触摸屏控制面板可对所有工艺参数进行编程,例如加热/冷却速率、温度保持时间和气体压力,并且只需触摸一个按钮即可运行。可与个人电脑和机械臂配合,能够多台炉子24/7全天候自动运行。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
电源要求

· 电压: 220VAC +/- 10% , 50/60Hz, 单相

· 功率: 6KW 


加热

· 最高工作温度: 1200℃ (≤ 30 分钟)

· 连续工作温度: 1100℃

· 加热元件: FeCrAlMo 合金丝

· 加热区: 2温区:175mm+ 175 mm

· 总加热区长度: 350 mm L

· 温度均匀性:120 mm (±2℃)

· 最大加热速率:建议10 ℃/分钟


温度控制

· 触摸屏面板可编程

· 内部设有两个 50 段式温度控制器

· 控温精度±1℃

· 可选升级:可配置欧陆控温仪表  控温精度±0.1℃

· 热电偶:两个 K 型热偶

· 默认配备 DB9 电脑端口及软件,便于电脑远程操作


密封法兰

· 一组采用 SS304 材质的水冷密封法兰

· 上部法兰配有数字真空计、K 型热电偶、机械压力计以及 G1/4 双密封圈气体入口(KF 25 真空接口)

· 石英管塞和样品台放置在下部法兰上

· 配备有一个1 – 1000SCCM的 MFC(质量流量计)


样品台

· 样品台:直径 130 mm,由石英板制成,可在该台上放置大型单个或多个坩埚用于高通量处理

· 可提供定制的样品台和坩埚以满足高通量处理的需求

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水冷机

· 配备有一台 16L/分钟的循环水冷机,用于冷却法兰并保护硅橡胶 O 型圈


真空泵(可选)

· 机械泵:真空度10⁻² Torr.

· 分子泵系统:真空度10⁻⁵ Torr.

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可选

· 如果将此炉与气体输送装置、自动氢气燃烧器以及泄漏检测仪连接起来,就可以将其升级为自动氢气炉:

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应用注意

· 一台计算机可以控制多台管式炉

· 通过使用机械臂,这些管式炉可以实现完全自动化操作

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