| 电源要求 | · 电压:208~240VAC,单相,50/60Hz · 功率:9KW |
| 箱体 | · 尺 寸:2400*3500*2600mm(长*宽*高),体积约22m3,不带底座; · 材 质:3mm厚不锈钢304板; · 平 移 门:平开门+气缸压紧+充气密封方式、有装有手套及手套口的视窗。 · 压 力:箱体使用压力为微正压与微负压:±10mbar,通过触摸屏设置压力。 |
| 过度仓 | · 尺寸:大过渡舱Φ390mm*600mm,材质为3mm厚SUS304。 · 小过渡舱Φ150mm*300mm,材质为3mm厚SUS304。 · 托 盘:大过渡舱有可滑动SUS304托盘、小过渡舱内设半圆形SUS304托盘。 · 操作:大过渡舱手动开闭,具有自动抽气补气功能,通过触摸屏控制。 · 小过渡舱手动开闭,三通球阀手动操作抽气补气。 · 真空度:≤-0.1MPa,带显示,配置德国WIKA耐震真空压力表。 |
| 视窗 | · 2套、8mm厚安全钢化玻璃玻璃,3/8英寸厚的OMEGA密封圈 |
| 手套 | · 丁基橡胶手套,口径8英寸,厚度0.4mm |
| 接口 | · KF40/50接口各5个,管路预留其他水进出气口及电缆接口(可根据客户要求定制)。 |
| 照明 | · 箱体内装有LED防爆照明灯 |
| 风扇 | · 箱体内加装多个德力西大功率风扇,清洗时开启风扇将箱体内诸多死角里的气氛充分搅匀,提高清洗效率、节省气源; |
| 过 滤 器 | · 直径120mm、过滤精度3微米、HEPA标准过滤器、阻燃材料 |
| 快速清洗系统 | · 设置快速洗气接口及控制阀门,迅速置换清洗箱体内气氛; · 通过气体清洗,箱体内的水氧含量可达到100PPM |
| 管道清洗系统 | · 设有管道清洗功能,将管道中的空气迅速清洗置换 |
| 循环净化除尘系统 | · 净化能力:水、氧<50ppm(净循环效果); · 工作气体:氩气(Ar)(气体循环); |
| 净化系统 | · 循环风机:,流量0-200m³/h, · 安装在经压力测试的双层不锈钢密封桶内,安装有水冷回路; · 净 化 柱:2个净化柱;每个净化柱填装德国BASF铜触媒25kg、美国UOP分子筛20kg; · 净化柱均配有温控仪,精确控制再生温度,保证净化材料使用寿命 |
| 再生系统 | · 用于净化系统再次利用,使其内部材料活化;净化柱饱和后在加热条件下通入Ar/ H2的混合气体,其中H2占5-10%, · PLC自动控制启动再生装置,饱和净化柱进行再生激活,再生系统步骤明确并在显示屏上显示,便于掌握时间; |
| 除尘系统 | · 净化柱前装有0.3微米两级过滤滤芯,90%除尘率,防止粉尘和烟尘 进入净化柱内,保护净化材料; · 两级滤芯前后装有差压表,监测滤芯两端压差,差压达到一定值时系统提示更换滤芯; · 差压表前后各装有日本SMC真空过滤器,防止粉尘进入导致故障。 · 净 化 阀:德国Burkert,全自动电气动阀; |
| 控制系统 | · 10英寸的触摸屏用于显示和设置各种参数; · 压力控制:触摸屏自动控制箱体、过渡舱的压力(±10mbar),工作压0~5mbar。 · 安 全 阀:箱体压力超过12mbar时自动开启安全阀泄压,保护设备、手套、材料。 · 自动清洗:在触摸屏点击箱体自动清洗功能并设定时间,系统将开始清洗箱体。 · 水氧报警:箱体内水氧含量超出设定值时声光报警。 |
| 真空泵 | · 爱德华RV12真空泵,流量12m³/h、极限真空2*10-3mbar。 · 配爱德华原装进口油雾过滤器 |
| 设备尺寸 | |
| 设备重量 | · 约2500kg |
