| 电源要求 | ·AC380V三相50/60Hz ·可选AC220V三相 ·功率：7.3KW |
| 腔体 | ·Φ182mm×225mm的水冷真空室 ·带有一个Φ120mm的前门，便于样品的装载和取出 ·前部带有一个有色观察窗，用于监测实验过程 ·内置机械操纵杆，可在不破坏真空的情况下倾斜和旋转样品 |
| 电极&样品台 | ·采用上下石墨电极，石墨电极上嵌有石墨毡（图1） ·石墨毡形成绒毛结构电解列阵，施加电压产生稳定的高温等离子体对样品加热（图2，图3） ·样品片放在底部石墨毡上，最大样品尺寸Φ20mm
图1 图2 图3 |
| 工作气体 | ·氩气 |
| 直流电源 | ·7000W(250A)直流电源 ·AC380V三相50/60Hz. ·直流输出占空比 60%@250A,100%@200A ·最小输出电流:10A |
| 真空泵（可选） | ·真空度取决于真空泵的性能。（可点击选购本公司的真空泵） ·通过分子泵系统真空度可达10-5Torr（分子泵系统） |
| 循环水冷机（可选） | ·腔体和电极都需要水冷却，可选购本公司循环水冷机KJ-5000 |
| 设备尺寸 | ·900mm×600mm×1800mm（含炉架）
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| 设备重量 | ·~80kg |
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皖公网安备 34012302000974号
