| 产品特点 | · 通过磁耦合驱动,坩埚在真空/气氛环境中实现移动。 · 通过坩埚底部的热电偶进行实时温度测量。 · 左侧端的法兰采用快接法兰,便于取放样品。 · 高真空密封,真空度可达10-5Torr |
| 电源 | · AC208~240VAC,单相,50/60Hz |
| 工作温度 | · 最高工作温度:1200℃(<30分钟) · 连续工作温度:1100℃ · 炉体加热速率≤10℃/min |
| 加热区 | · 400mm · 在进行薄膜生长之前,您应针对自身应用测量炉内温度分布情况 |
| 炉管 | · 石英管 · 尺寸:100外径x95内径x1000L(mm) |
| 温度控制 | · 包含两个温度控制器。一个用于控制炉温,另一个用于显示可移动坩埚的温度。 · 通过固态继电器实现PID自动控制,具有30步可编程功能。 · 内置超温保护和热电偶故障保护功能。 · 可选:通过安装控制模块,可在PC上操作该炉。请额外订购MTS02-B控制模块。 |
| 密封法兰&坩埚移动 | · 左边法兰 · Φ100mm个带Φ6.35mm卡套接头的法兰,Φ6.35mm馈通(用于插入热电偶),以及一个KF40真空接口(用于连接真空泵) · 右边法兰 · Φ100mm的快接法兰,连接了磁耦合器推杆 · 真空磁耦合推杆杆会固定一个带有石英热缓冲层的石英坩埚,它能够手动推动坩埚在炉管内移动以实现对样品的快速加热或冷却 · K型热电偶位于坩埚底部,用于控制温度 · 可选:如果需要电动推动,可购买前提出,本公司可提供,需额外费用 |
| 真空度 | · 配有一台涡旋分子泵 · 真空度:10-6torr(冷态) |
