| 技术参数 | ·在常温下，固定脉冲激光的能量大小，在SrTiO3基片上沉积了预设数量的脉冲来形成薄膜 通过AFM扫描薄膜台阶，计算薄膜和基底的高度差获得薄膜厚度为50±2.5 nm（图1）。
图1 在常温下生长固定脉冲数量的SrRuO3薄膜的厚度结果 ·根据常温下标定的脉冲数和薄膜厚度的关系，在740℃下，使用与常温时相同大小的脉冲激光能量，生长高质量的单晶外延SrRuO3薄膜。 通过AFM测量SrTiO3/ SrRuO3样品表面微米区域的微观形貌，如图2所示，表面平整，薄膜的表面粗糙度小于2 nm， 但宏观区域可能有小颗粒，厚度偏差小于薄膜厚度的5%。
图2 AFM测量的SrTiO3/ SrRuO3样品表面微米区域的微观形貌 ·对制备的SrTiO3/ SrRuO3样品进行XRD测试确定其物相组成，XRD图谱如图3所示。
图3 制备的SrTiO3/ SrRuO3样品的XRD图谱 |
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