| 设备名称型号 | · 1100℃微型可视化CVD炉 GSL-1100-Micro |
| 特点 | · 一个的扁平高透光率窗口焊接在φ20石英管上，用于原位观察薄膜生长 · 最高加热温度：1100℃，最大升温速率：5℃/min（室温-800℃的平均升温速率） · 左右加热板可以实现对样品和蒸发物料的快速加热和快速冷却 |
| 加热装置与温控系统 | · 两边分别有：128*17*4mm/52*12*4mm; 的陶瓷涂层加热板，用于加热蒸发料与样品 · 最高加热温度：1100℃<30min · 最大升温速率：5℃/min（室温-800℃的平均升温速率） · 炉管外圈包裹了一层保温材料，用于保温。在光学石英窗口所对应的水冷板位置上方开有直径φ3.5mm的观察孔，用于外部设备的探测
温控系统： · 两个具有 50 段可编程的温度控制器，用于独立控制两个加热板 · 内置PID自动调节功能 · 具有热电偶过热保护与损坏报警功能 · 控温精度：±1℃ · 两个K型热电偶（每个区域一个） |
| 炉管与法兰 | · 标配1根石英管 · 石英管尺寸：φ20*φ17*290（方孔8*12）（两端圆形，中间方形） · 一对不锈钢密封系统安装在炉管两端，采用硅胶O型圈密封，法兰采用卡箍连接，方便安装 · 左端法兰上的一个φ6.35 mm的卡套接头为进气口，一个不锈钢针阀控制进气的通断，安装了一个量程为-0.1-0.15MPa的机械压力表用于观察炉管内压力 · 右端法兰上的一个φ6.35mm的卡套接口为出气口，一个不锈钢针阀控制出气的通断； 一个kf25接口通过不锈钢针阀控制，用于抽真空
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| 水冷平台 | · 底部安装一块290*60mm的水冷座，用于固定上部的炉管和法兰系统，便于客户对样品台进行冷却和调整 · 水冷板上下平面必须进行精密加工，确保平整度 |
| 水冷设备 | · 电源：AC220V 50HZ · 功率：800W · 工作电流：1.4-2.1A · 制冷量：2361Btu/h · 水箱容量：6L · 出入水口：外径10mm铜咀 · 水流速度：16L/min |
| 真空系统（选配） | · 型号：VRD-8 · 抽气速率：2.2 L/S · 电机功率：370 W · 极限压强：5×10-1Pa（不带负载） · 实际压强：≤2 Pa（带上炉管和密封法兰，冷态下机械泵抽20分钟） · 如果想要获得更高的真空度（10-5toor 或更高）可选购国产或进口高真空机组
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| 笔记本电脑，软件和WIFI控制（可选） | · 可配备电脑进行控制 · 基于Labview的自研温度控制系统（EQ-MTS01）。使用户能够编辑，记录，储存温度曲线等数据 |
| 设备外形尺寸 | · 可视化CVD炉尺寸：530mm*140mm*190mm（长*宽*高） · 温控盒尺寸：360mm*360mm*200mm（长*宽*高）
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| 重量 | · 约30KG |
| 质保 | · 一年质保期，终生维护 · 特别提示： 1、耗材部分如加热元件、石英管、样品坩埚等不包含在内 2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内 |
使用注意事项 | · 炉管内气压不可高于0.02MPa（相对气压）； · 由于气瓶内部气压较高，所以向石英管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全； · 对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等） · 我们不建议客户使用易燃易爆和有毒的气体，如果客户工艺原因确实需要使用易燃易爆和有毒气体，请客户自行做好相关防护和防爆措施。由于使用易燃易爆和有毒气体而造成的相关问题，本公司概不负责。 |
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皖公网安备 34012302000974号
