| 电源要求 | ·电压：AC380V 三相 50/60Hz ·功率：40KW |
| 感应加热电源 | ·采用中频电源：1-20KHz ·功率：35KW ·输出电流：10-70A ·输出电压：70-550V |
| 真空腔体 | ·采用 SS304不锈钢腔体双层水冷腔体， 确保设备工作室表面温度≤70℃ ·腔体尺寸:Ф500*700mmH ·腔门上有一个 80*300mm 的方形观察窗口，方便晶体生长过程中实时观察样品的熔化和生长情况 ·腔体上部安装了一个量程为-0.1-0.5MPa 的机械压力表用于观察 腔室内压力情况 ·预留G1/4进气口，并通过一个不锈钢针阀控制进气的通断 ·预留G1/4出气口，并通过一个不锈钢针阀控制出气的通断 ·安装了一个安全泄压阀，当腔室中压力大于一定值时将自动泄压， 确保腔体的安全 ·装有摄像头，用于摄录晶体生长过程 ·装有红外测温仪，用于测量坩埚内物料温度 |
| 提拉机构 | ·采用伺服电机+谐波减速器来提拉籽晶杆 ·采用高精度直线模组可以防止晶体生长提拉过程中卡顿 ·体移动有慢速提拉和快速移动两种模式 ·提拉行程：200mm ·提拉速度：0.03mm/hr--30mm/hr(可调，精度+/-1um) ·籽晶杆旋转速度：1-60 rpm ·可根据客户要求来定制炉体移动速度范围 · 设备标配一套上称重系统，可以精确的控制晶体生长过程中的工艺参数。 ·秤量程：5KG ·称精度：0.1g
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| 控制系统 | ·整个电路控制系统在工控机上面实现操作控制,采用国际通用的labview软件进行控制，可以实现以下功能： · 生长斜率及控制参数设定； · 控制晶升，动态可调 · 控制晶转，可设定多段速自动执行 · 检测晶体实时重量并反馈至欧陆表组成闭环控制 · 腔体真空和压力检测 · 报警监测，晶升晶转中频气压及称量程等上限报警 · 实时数据曲线，晶体生长图例模拟 · 数据记录，自动存储运行数据
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| 坩埚（可选） | ·设备标配中不含坩埚 ·坩埚最大尺寸：Φ100×80mm ·可生长晶体最大尺寸：Φ50×100mm ·可在本公司订购更大的晶体生长炉，最大晶体尺寸可达直径100mm |
| 测温系统 | ·采用欧陆仪表：Eurotherm 3000系列 ·采用红外测温仪，测温范围：1000-2100℃ |
| 水冷系统 | ·系统配置1台，给感应电源和腔体水冷 ·工作电流：8.4-34.6A ·制冷量：49474Btu/h ·最大流量：117L/min ·水箱容量：75L
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| 真空系统 | ·配有一台机械泵，真空度可达：10pa ·可选购分子泵系统，真空度可达10-3Pa |
| 产品尺寸和重量 | ·炉体尺寸长宽高：1250*1150*2700mm ·电气柜尺寸长宽高：565*800*1740mm ·中频电源控制柜尺寸：700*400*835mm ·UPS电源尺寸长宽高：780*450*600 ·重量：1.5T
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| 认证 | ·通过CE认证 ·若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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| 质保 | ·质保一年，终生维护（不包括，炉膛和加热元件） |
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皖公网安备 34012302000974号
